清潔度的測定方法很多，主要有如下幾種：
目視檢查法
目視檢查法即由人工直接用眼睛在顯微鏡下對零件可以看到的外表面或內腔表面進行檢查。調節顯微鏡的照明亮度和放大倍數，人工可以判斷污染顆粒是金屬、非金屬、或纖維以及尺寸大小。目測法可以檢查殘留在零件表面的比較大而明顯的顆粒、斑點、銹斑等污染，但檢查的結果與人為的因素關系很大。
稱重法
稱重法是工業生產和試驗中常用的清潔度測定方法。其測定原理是將一定數量的試樣在一定的條件下進行清洗，然后將清洗的液體通過濾膜充分過濾，污物被收集在經過干燥的濾膜表面，將濾膜再次充分干燥，根據分析天平稱出過濾清洗前后干燥的濾膜質量，計算其增加值即為試樣品上的固體顆粒污染物的質量。
接觸角法
所謂接觸角，就是液體在固體表面形成熱力學平衡時所持有的角。對固體和液體之間形成的接觸角的測量，是在表面處理及聚合體表面分析等眾多類似領域廣為知曉的分析技術，是對多個單位的單層變化十分敏感的表面分析技術。測量液滴在固體表面的接觸角來評估表面的可濕潤特性。如果液滴可濕潤表面，則接觸角小，反之液滴不能濕潤表面，而在表面傾向于形成圓珠或氣泡，則接觸角大。這就是“水膜殘跡”測試的原理。接觸角大，表示表面被憎水性的污物(油 / 脂等)污染，反之，接觸角小，液滴破裂或攤薄，表示該表面清潔。這種測試方法受人為因素影響也很大，而且這種方法對非常輕小或分散的污物不易識別。尤其是有些特殊材料(如 PTFE 塑料)即使表面很清潔，對大多數液體的接觸角也很大。所以，接觸角法不適合對某些關鍵重要的表面清潔度測試。
熒光發光法
在許多情況下，可以利用紫外線來檢測零件表面的清潔度。在紫外線的照射下，表面的污染物顆粒會發出熒光。因為紫外線的能量被污物吸收，污物顆粒電子被激化并躍進到高能級的電子層，處于高能級的不穩定的電子隨即會返回原低能級電子層，在此過程中原來吸收的能量以發熱發光的形式釋放出來——熒光。這種激活釋放的頻率達每秒幾千次，所以在紫外線下的熒光不是閃爍的而是持續穩定的，根據發熒光即可目測污物在零件表面的位置，熒光強度也是可以應用信號檢測儀器測定從而表示表面被污染的程度。但如果要識別污染物的成分等特性，必須借助其他分析法。
