金相顯微鏡是專門用于觀察金屬和礦物等不透明物體金相組織的顯微鏡鏡，它具有穩(wěn)定性好、成像清晰、分辨率高、視場(chǎng)大而平坦的特點(diǎn)。因其對(duì)被測(cè)物進(jìn)行既定性又定量地進(jìn)行分析，故對(duì)金相顯微鏡的校準(zhǔn)工作*。
關(guān)鍵詞：金相顯微鏡；物鏡場(chǎng)曲；物鏡放大倍數(shù)；示值誤差；校準(zhǔn)規(guī)范；測(cè)量不確定度。
金相顯微鏡是廣泛用于冶金、機(jī)械加工、科技等行業(yè)的測(cè)量?jī)x器。它可以測(cè)量金屬材料金相組織奧氏體的晶粒度級(jí)別、材料熱處理后滲碳層的厚度等。為了提高我國(guó)的材料研發(fā)制造水平，我們必須對(duì)金相顯微鏡進(jìn)行校準(zhǔn)或檢定。金相顯微鏡主要分為光學(xué)式金相顯微鏡、數(shù)碼金相顯微鏡、便攜式視頻金相顯微鏡、金相顯微鏡、圖像分析儀等。(以下統(tǒng)稱金相顯微鏡)
1、 金相顯微鏡的溯源
由于各種金相顯微鏡的用途不同，故其類型、結(jié)構(gòu)及精度亦不同，因而溯源關(guān)系和方式也不同。通過(guò)不同的技術(shù)手段和方法，我們終可溯源到“單刻線樣板標(biāo)準(zhǔn)器組”和“0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺”標(biāo)準(zhǔn)器組。
2、 校準(zhǔn)項(xiàng)目的設(shè)立
2.1、物鏡場(chǎng)曲
將一物鏡安裝好，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺放在工作臺(tái)上并壓緊；旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕，將焦點(diǎn)調(diào)整在測(cè)微尺的中間，視場(chǎng)中心成像清晰，此時(shí)將千分表測(cè)頭與工作臺(tái)表面相接觸并對(duì)好表的零位；再次旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋轉(zhuǎn)，把焦點(diǎn)調(diào)整到測(cè)微尺的邊緣，使視場(chǎng)邊緣成像清晰。觀察千分表，其大偏移量即為該物鏡的場(chǎng)曲誤差，其余物鏡以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。
物鏡場(chǎng)曲誤差的指標(biāo)如下：10X<0.2mm、25X<0.1mm、40X<0.07mm、63X<0.065mm、100X<0.04mm
2.2、物鏡放大倍數(shù)的正確性
裝上10X標(biāo)準(zhǔn)目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)沒(méi)微尺放在工作臺(tái)上并壓緊。觀察時(shí)測(cè)微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測(cè)是放大倍數(shù)的誤差。其余物鏡以此類推進(jìn)行校校準(zhǔn)，其誤差不大于5%
2.3、目鏡分劃板的準(zhǔn)確度
將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬(wàn)工顯工作臺(tái)上并調(diào)好焦距；調(diào)整工作臺(tái)，使分劃板的水平線與萬(wàn)工顯縱向?qū)к壭谐唐叫胁?duì)好零位，按每20格測(cè)量一次，直到第100格，其誤差不大于5um
2.4、物鏡成像清晰范圍
用被檢物鏡及10X目鏡對(duì)測(cè)微尺或金相試樣進(jìn)行調(diào)焦，使成像清晰。當(dāng)視場(chǎng)中心像清晰時(shí)，測(cè)得視場(chǎng)內(nèi)的成像清晰范圍的誤差不低于60%
2.5、各物鏡相對(duì)于目鏡的格值
裝上被檢儀器的10X目鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微尺(推薦使用隨機(jī)0.01mm測(cè)微尺)放在工作臺(tái)上并壓緊；調(diào)整測(cè)微尺標(biāo)尺軸線與儀器目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測(cè)微尺n條刻線數(shù)，該物鏡相對(duì)于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。
